Temperature plate
VC均温板石墨模具
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VC石墨模具
产品名称:
VC石墨模具
产品类型:
VC均温板石墨模具
产品品牌:
捷诚
产品简介:
半导体制作:可耐受晶圆刻蚀工艺中的氟化氢(HF)、氯气(Cl2)等腐蚀性气体。
捷诚石墨
0769-89392518
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产品详细介绍

VC石墨模具的介质特性主要体现为优异的化学稳定性和耐腐蚀功能,使其在不同使用环境中体现出色。以下是详细特性分析:

1.化学稳定性

酸/碱介质:石墨实质为碳,具有稳定的电子结构,常温下可耐受弱酸(如稀硫酸、醋酸)、弱碱(如氢氧化钠溶液)及有机溶剂(如乙醇、丙酮)的腐蚀。其表面涂层进一步隔离氧化性介质,下降氧气扩散速率,防止氧化反响。

高温维护性:在高温下(如热压烧结过程),石墨模具表面可生成CO/CO2气体层,构成自维护屏障,抑制深层氧化。

2.耐腐蚀功能

极点工况耐受性:

半导体制作:可耐受晶圆刻蚀工艺中的氟化氢(HF)、氯气(Cl2)等腐蚀性气体。

太阳能电池出产:在硅片切割液(含乙二醇、聚乙二醇等)及热处理环境中的腐蚀性介质中保持稳定。

航空航天:在燃料焚烧发生的高温硫氧化物(SO2)等极点气体中,仍能保持结构完整性。

长效服役能力:选用高纯度石墨(含碳量>99.9%)可进一步提升耐腐蚀功能,延长模具寿数。

VC石墨模具

3.与介质相容性

金属溶液不浸润性:石墨模具与熔融金属(如铝、铜、钢)的接触角大于90°,金属溶液不易附着,便于脱模且防止模具损伤。

抗热震性匹配:低热膨胀系数使其与金属坯料热胀冷缩同步,减少热应力导致的开裂危险。

4.在不同介质中的体现

介质类型 使用场景 关键功能

酸性介质 化学蚀刻、酸洗工艺 表面涂层隔绝H2腐蚀,抗氧化膜自愈裂纹

碱性介质 玻璃制作、陶瓷烧结 石墨粒子带负电均匀涣散,供给润滑性,抵抗NaOH等强碱腐蚀

有机溶液 塑料注射成型、橡胶硫化 抗氧化处理构成0.02mm隔离层,防止有机溶剂浸透导致氧化

高温腐蚀性气体 CVD涂层、晶圆刻蚀 3850℃熔点耐受高温,化学慵懒防止与Cl2、HF等气体反响

5.强化措施

表面涂层技术:选用抗氧化涂层(如纳米陶瓷颗粒)或浸渍维护剂,在孔隙中构成隔离层,提升寿数90%以上。

资料复合化:VC均温板与石墨结合(VC石墨模具),利用均温板的高效导热涣散局部高温,下降介质腐蚀性影响。

VC石墨模具的介质特性掩盖酸、碱、有机溶剂及高温气体环境,其耐腐蚀性和化学稳定性优于金属模具,适合高精度、高洁净度的工业场景。实践使用中需根据介质成分(如pH值、离子浓度)和温度参数挑选适配的石墨纯度及涂层计划。