石墨盘的检侧方法

1.根据权利要求6-8任一项所述的装置， 其特征在于， 所述扫描模块， 用于发射超声波；接收经过所述石墨盘反射回的超声波；根据发射的超声波的强度和反射回的超声波的强度，确定所述石墨盘的反射率  

2.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第一判断模块， 用于显示所述石墨盘的表面图像；接收人工操作指令，所述人工操作指令用于指示所述石墨盘的表面是否存在破损；或者，将所述石墨盘的表面图像输入预定的分类器，根据所述分类器的结果确定所述石墨盘的表面是否存在破损。  

一种石墨盘检测装置，其特征在于，所述装置包括：拍摄模块， 用于拍摄石墨盘的表面，得到所述石墨盘的表面图像；

第一判断模块， 用于根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破损

第二判断模块， 用于当所述石墨盘的表面不存在破损时，根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在色差；扫描模块， 用于当所述石墨盘的表面不存在色差时，对所述石墨盘进行超声波扫描，得到所述石墨盘的反射率；分类模块， 用于根据所述石墨盘的反射率对所述石墨盘进行分类，同一外延生长设备采用同一类所述石墨盘进行外延生长。

3.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述拍摄模块， 用于将所述石墨盘的表面分为多个区域；依次拍摄所述石墨盘的表面的多个区域，得到多张所述石墨盘的表面图像。

4.根据权利要求6-8任一项所述的装置，其特征在于，所述第二判断模块， 用于将所述石墨盘的表面图像分为多个区域；计算每个区域的平均灰阶值； 计算任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值；当存在任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值大于阈值时， 确定所述石墨盘的表面存在色差。